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在材料表面處理中采用低溫等離子體,主要包括三類處理裝置:射頻真空等離子體清洗機(jī)、DBD等離子體清洗機(jī)和滑動弧射流等離子體清洗機(jī)。下面為大家介紹這三類等離子體清洗機(jī)各自的優(yōu)勢和不足之處。