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文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-10-06

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隨著經(jīng)濟快速增長，半導(dǎo)體工業(yè)也隨之不斷發(fā)展，真空設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用也更加廣泛，如干法類設(shè)備、真空鍍膜類設(shè)備、材料生長類設(shè)備和摻雜類設(shè)備，等等。這些真空設(shè)備中用來獲取真空的泵組，也成為影響設(shè)備性能的核心組件之一。為保障設(shè)備正常運行，對真空泵組的常見故障進行分析和處理也變得越加重要。

常見真空泵的分類和性能指標

真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理，基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵。區(qū)別是對氣體的處理方式不同，氣體傳輸泵是以不停吸入和排出氣體來達到抽氣目的的真空泵，而氣體捕集泵則是將被抽氣體吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上來獲取真空。氣體傳輸泵又分為容積泵和動量傳輸泵，氣體捕集泵分為吸附泵和低溫泵。

半導(dǎo)體設(shè)備中常見的真空泵為油封式機械泵，干式真空泵，羅茨真空泵，分子真空泵，擴散泵和冷凝泵等。

常見真空泵故障分析及維修辦法

旋片式油封式機械泵

對于中小型真空設(shè)備，旋片式油封式機械泵是最基本的真空獲取設(shè)備之一，屬于低真空泵，工作壓力范圍為101325～1×10-2Pa。它可單獨使用，也可以作為其他高真空泵的前級泵使用。旋片式油封式機械泵可用于抽取干燥氣體和一定量的可凝氣體。

旋片式油封式機械泵的常見故障現(xiàn)象分類

真空性能較差
（1）泵體內(nèi)油有問題，機械泵性能表現(xiàn)和油的質(zhì)量及純度有著非常密切的關(guān)系。泵在使用過程中，所抽設(shè)備里的雜質(zhì)和水容易通過抽氣進入真空泵油中，這種情況會嚴重影響機械泵的性能。因此，需要經(jīng)常對真空泵油進行取樣觀察。如泵油有顆粒沉淀物、有水沉積、色彩較暗，則需要更換泵油并檢查進氣口過濾器濾芯是否有損壞。注意不同種類或牌號的真空泵油不可混合使用。
（2）真空系統(tǒng)泄漏，檢查設(shè)備真空系統(tǒng)并檢漏。
（3）泵內(nèi)部元件損壞，拆開機械泵，檢查泵體旋片磨損情況，觀察泵體表面是否有劃痕，如泵體內(nèi)較臟或有粘糊狀物質(zhì)，則需清洗泵體和旋片后重新安裝。根據(jù)經(jīng)驗，如泵體和旋片磨損較輕微，清洗后泵的真空度會有所下降，需測試是否可滿足設(shè)備真空性能需求。如磨損嚴重，則需更換旋片或泵體，由于機械泵旋片和泵體之間間隙直接影響機械泵抽氣性能，一般需配合加工。如只更換其中之一，往往難以修復(fù)，需配合研磨。

機械泵無法正常旋轉(zhuǎn)
檢查機械泵的電氣連接，如是三相機械泵則確定其是否缺相，單相機械泵則檢查其電容。如機械泵供電正常，則需從聯(lián)軸器處將機械泵拆分為電機和泵體兩個部分，斷電后分別手試旋轉(zhuǎn)電機軸和泵體聯(lián)軸器，看是否有較大阻力，如電機無法旋轉(zhuǎn)則需拆開檢查其內(nèi)部轉(zhuǎn)子和軸承是否損壞；如泵體部分卡死則需拆下泵體內(nèi)旋片部分進行檢查，如有必要，可清洗泵體內(nèi)部。

機械泵聲音異常
（1）輸入電壓問題。檢查輸入電壓是否異常，檢查電源，開關(guān)，線路連接情況。
（2）泵內(nèi)油位太低，檢查油窗，補充真空泵油。
（3）彈性聯(lián)軸器損壞。檢查聯(lián)軸器是否損壞，更換元件。

渦輪分子泵
在半導(dǎo)體真空設(shè)備中，渦輪分子泵同樣也應(yīng)用十分廣泛。其是利用分子牽引（高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運動的現(xiàn)象）以高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合實現(xiàn)抽氣。渦輪分子泵為高真空泵，需配合前級泵使用，將其泵出口的氣體抽走，其使用真空范圍為1×10-1～＜1×10-5Pa。渦輪分子泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，主要故障有葉片或泵體損壞，異常振動和噪聲，真空度問題，泵過熱，分子泵轉(zhuǎn)速波動超標或停機等。其中葉片或泵體損壞一般較為嚴重，需返廠維修。

低溫泵
低溫泵是利用低溫（低于100K即-173.15℃）表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空的裝置。其抽速大（理論比抽速可達11.6L/（S×cm2），極限真空度高（1×10-13Pa），清潔無油且可以長期有效運行，在半導(dǎo)體真空設(shè)備中應(yīng)用廣泛。

低溫泵運行過程中出現(xiàn)異常摩擦聲
故障原因分析：驅(qū)動單元故障，氦氣不純導(dǎo)致推移活塞處凝結(jié)固態(tài)異物
低溫泵溫度異常，推移活塞有污染
故障原因分析：壓縮機內(nèi)油泄漏、充氣時使用了被污染氦氣、密封環(huán)磨損導(dǎo)致的粉塵污染

對常見真空泵的故障現(xiàn)象和維修手段進行總結(jié)，可有效節(jié)約維修時間，及時發(fā)現(xiàn)故障和處理，保證設(shè)備安全經(jīng)濟運行。如果你也有真空泵需要維修，可以直接聯(lián)系我們，專業(yè)維修保養(yǎng)進口真空泵，愛德華、普旭、阿爾卡特、EBARA、萊寶等各大品牌真空泵，維修快速，價格實惠。

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