真空等離子清洗機(jī)真空度影響決定什么
文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2023-02-22
真空等離子清洗機(jī)的工作流程:在壓力到達(dá)設(shè)定本底壓力時(shí),充入工藝氣體,當(dāng)腔內(nèi)壓力進(jìn)出動(dòng)態(tài)平衡時(shí),利用等離子電源產(chǎn)生的中高頻交變電磁場(chǎng)激發(fā)生成等離子體,對(duì)被清洗工件表面進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過(guò)抽真空排出,而達(dá)到清洗目的。
真空度指的是真空等離子清洗設(shè)備工藝腔室的腔內(nèi)壓力,清洗腔內(nèi)的真空度是工藝氣體流量、腔體泄露率和真空泵抽速的動(dòng)態(tài)平衡。在高頻電場(chǎng)中真空狀態(tài)下的氣體物質(zhì)通過(guò)輝光放電,轉(zhuǎn)變成等離子體狀態(tài)。被清洗器件被等離子體完全籠罩,開(kāi)始清洗作業(yè)。
真空等離子清洗機(jī)真空度影響決定什么
真空等離子清洗機(jī)處理效果與真空度密切相關(guān),只有在特定的真空度及等離子氣體氛圍內(nèi),才能得到最佳的改性效果。真空度對(duì)材料表面處理效果影響較大,當(dāng)真空度較小時(shí),高速電子數(shù)目的增多使得各粒子的平均自由動(dòng)程降低,自由電子碰撞獲得的能量不足以提供足夠被電離的活性粒子,活性基團(tuán)數(shù)目少。當(dāng)真空度較高時(shí),高速電子數(shù)目減少,電子自由動(dòng)程大,碰撞機(jī)會(huì)減少使得真正被電離的活性粒子數(shù)目少,活性基團(tuán)數(shù)目少。
物理等離子清洗工藝模式采用的倉(cāng)體真空度較小。物理等離子清洗工藝要求被激發(fā)的離子轟擊工件表面。假如倉(cāng)體真空度過(guò)高,激發(fā)的離子在到達(dá)工件清洗表面之前就和其他離子產(chǎn)生多次碰撞,減低清潔效果。已激發(fā)的離子在碰撞之前所行進(jìn)的距離稱為離子的平均自由路程,與倉(cāng)體真空度成反比。物理等離子清洗工藝要求低壓以便于平均自由路程最大化,使碰撞轟擊達(dá)到最大。但假如倉(cāng)體真空度下降太多,就沒(méi)有足夠的活性離子在有效的時(shí)間內(nèi)來(lái)清潔工件?;瘜W(xué)等離子清洗工藝產(chǎn)生的等離子體與工件表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),所以離子數(shù)越多越能增加清洗的能力,導(dǎo)致需要使用較高的倉(cāng)體真空度。
本文由深圳等離子清洗機(jī)廠家納恩科技整理編輯!??!真空等離子清洗機(jī)真空度的控制也是一個(gè)重要的環(huán)節(jié),在氣體流量和功率一定情況下,要提高真空度,必須更換大抽速的泵。真空等離子清洗設(shè)備真空度控制方式通常有恒流&恒壓式(工藝氣體流量恒定,通過(guò)蝶閥角度控制或泵組頻率調(diào)整實(shí)現(xiàn)恒壓)、恒流式(工藝氣體流量恒定,真空壓力只做上限控制)、混合式(通過(guò)調(diào)節(jié)工藝氣體流量實(shí)現(xiàn)壓力控制)三種。第一種最穩(wěn)定,但設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本高,一般只有半導(dǎo)體晶圓制造工序選用;第二種最常見(jiàn),實(shí)際真空會(huì)隨著泵組能力而變化,新泵的抽真空能力強(qiáng),清洗效果較好;隨著時(shí)間推移,泵的抽速下降,清洗效果變差;第三種運(yùn)行穩(wěn)定性不好,不僅壓力不穩(wěn)定,工藝氣體流量也在變化,工藝穩(wěn)定性難以保證。