等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的氣體是否對(duì)人體有危害？

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-06-01

等離子清洗機(jī)通過(guò)等離子體產(chǎn)生的離子通過(guò)離子轟擊材料實(shí)現(xiàn)物理和化學(xué)反應(yīng)，由產(chǎn)生等離子體的氣體和氣體組合的不同，可以在處理表面產(chǎn)生不同的反應(yīng)。

等離子體本質(zhì)是“部分離子化了的氣體”，由電子、離子、活潑自由基、分子四種形態(tài)組成。反應(yīng)氣體處在低的壓力中，在電場(chǎng)的作用下獲得能量，氣體分子離子化，產(chǎn)生輝光放電。離子化氣體分子影響或和進(jìn)程中的材料分子反應(yīng)，打破他們變成較小的分子而且變成揮發(fā)性的氣體，通過(guò)真空泵排凈。等離子處理過(guò)程是一個(gè)物理和化學(xué)相結(jié)合的反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的氣體是否對(duì)人體有危害？

在等離子清洗蝕刻中的反應(yīng)氣體主要有N2,Ar,He,O2，CF4，H2等，等離子體的化學(xué)作用過(guò)程，主要是高能正離子和自由基粒子的誘發(fā)反應(yīng)。自由基的高度不穩(wěn)定性使其在化學(xué)作用過(guò)程中能迅速實(shí)現(xiàn)能量傳遞和激發(fā)官能團(tuán)的作用，處于激發(fā)狀態(tài)的有機(jī)官能團(tuán)，也具有不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很容易發(fā)生裂解反應(yīng)，生成穩(wěn)定的氣態(tài)分子，如水、二氧化碳、二氧化氮，SiF4等，SiF4即四氟化硅，其無(wú)色、有毒、有刺激性臭味的氣體，氟化物對(duì)人體有害，少量的氟就能引發(fā)一系列的病痛。

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