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Nordson March AP600等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹

文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2023-06-12
Nordson-March是一家領(lǐng)先的高科技公司,專注于為全球電子、醫(yī)療、航空航天和國防行業(yè)提供革命性的等離子技術(shù)解決方案。其中,AP600是Nordson-March公司生產(chǎn)的一款高效的等離子清洗機(jī),下面介紹一下它的特點(diǎn)和優(yōu)勢。

AP600等離子清洗機(jī)是美國Nordson-March公司生產(chǎn)的儀器,如圖1.1(a)所示。AP600主要進(jìn)行等離子體清洗、材料表面活化及改進(jìn)材料表面的附著力的功能,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子封裝和生命科學(xué)設(shè)備等方面。它由13.56MHz射頻電源發(fā)生器、電子控制系統(tǒng)、自動(dòng)匹配系統(tǒng)和等離子體放電腔體四部分構(gòu)成。外接真空泵系統(tǒng)可通入不同氣體,例如氬氣、氧氣、及氟化氣體等。放電腔體的兩側(cè)壁有7個(gè)可調(diào)節(jié)極板間距的支架可用于放置極板,相鄰兩個(gè)支架之間的間距為2.54cm(1inch)。其中正極板的尺寸為330mm*330mm,負(fù)極板與放電腔體的側(cè)壁相接觸,其尺寸為368mm*340mm。
Nordson March AP600等離子清洗機(jī)
Nordson March AP600等離子清洗機(jī)
同時(shí)AP600等離子清洗機(jī)放電參數(shù)的設(shè)定可以直接在操作面板上操作,包括放電功率、氣壓、流量、放電時(shí)間的設(shè)定,而且放電腔體內(nèi)的反射功率也會(huì)在面板上顯示,可以直觀地反映放電腔體內(nèi)放電狀況是否正常。若反射功率為零時(shí),說明與射頻電源能很好的匹配;若反射功率超過10則需要調(diào)節(jié)匹配電容,以保證腔體內(nèi)等離子體的正常放電。

AP600等離子清洗機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn):
1.高效清洗能力。AP600等離子清洗機(jī)通過低溫、低壓等離子技術(shù),能夠去除各種雜質(zhì)和污垢,使清洗效果更加徹底,在完成去污的同時(shí)可以提高產(chǎn)品表面親水型。
2.適用性廣泛。AP600等離子清洗機(jī)對清洗材料性質(zhì)沒有要求,無論是金屬還是非金屬都能處理??梢造`活應(yīng)對不同材料和清洗要求。
3.精確的控制系統(tǒng)。AP600清洗機(jī)采用先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)和觸摸屏界面,能夠?qū)崿F(xiàn)精確控制和監(jiān)控清洗過程,保障清洗質(zhì)量和安全性。
4. 節(jié)能環(huán)保。該清洗機(jī)采用低溫、低壓等離子技術(shù),不會(huì)產(chǎn)生有害氣體和廢水,同時(shí)也能夠節(jié)約能源和成本,符合環(huán)保需求。
5. AP600采用容性耦合等離子體 (CCP)產(chǎn)生方式,具有放電空間大、等離子體產(chǎn)生均勻、可控性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

AP600等離子清洗機(jī)常見應(yīng)用舉例 :
1. 清洗:去除納米級的殘留物;加強(qiáng)打線鍵合前的粘著性。
2. 滅菌處理:去除表面殘留微生物。
3. 表面改性:在材料表面產(chǎn)生官能分子。
4. 活化:渲染表面的親水性或疏水性;鍵合和沉積前的表面預(yù)處理。
5. 聚合處理:沉積帶官能分子團(tuán)的聚合物;等離子活化表面;移植聚合物到活化后的材料表面。
 

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