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等離子清洗機通過氣體放電產(chǎn)生等離子體然后與物體材料表面的微顆粒污染物或者有機污染物進(jìn)行物理碰撞或者發(fā)生化學(xué)反應(yīng),進(jìn)而形成揮發(fā)性物質(zhì),最后再由真空泵將這些易揮發(fā)性的物質(zhì)排出腔體外部,從而達(dá)到清潔及活化物體材料表面的目的。