序號 | 項目 | 型號規(guī)格 | 參數(shù) |
1 | 等離子發(fā)生器 | 功率 | 0-300W可調(diào) |
抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動阻抗匹配,遠程通信控制 | ||
頻率 | 40KHz | ||
2 | 真空反應(yīng)腔室 | 腔體材質(zhì) | 進口 316 不銹鋼,軍工級密封 |
腔體容積 | 5L | ||
電極數(shù)量 |
1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼
托盤
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腔體直徑(圓形) | Φ140×270(D)mm | ||
有效處理范圍 | 135(W)*250(D)mm | ||
絕緣陶瓷 | 進口高頻陶瓷 | ||
3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器, 0-500ML |
氣路數(shù)量 | 2 路氣體通道,支持氧氣氬氣等 | ||
4 | 整機參數(shù) | 整機功率 | 1000W |
外形尺寸 |
590mm(L)×565mm(W) ×470 mm(H)
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