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5L中頻等離子清洗機

  • 產(chǎn)品型號:NE-PE05
  • 性能特點:體積小巧操作簡單
  • 產(chǎn)品用途:科研實驗,材料表面活化改性
  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
小型等離子清洗機可應(yīng)用于多種材料,包括金屬、陶瓷、復(fù)合材料、塑料、聚合物和生物材料表面處理。包括材料表面清潔、表面活化、表面能改變、用于粘合和粘附的表面制備、表面化學(xué)改性,以及通過活化對聚合物和生物材料進行表面處理、接枝和表面涂層。

小型等離子清洗機原理:


小型等離子清洗機的清洗原理是在真空狀態(tài)下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子,然后與有機污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì),然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去,從而達到表面清潔活化的目的。

小型等離子清洗機產(chǎn)品特點:


 ●產(chǎn)品體積小,精度高,實用,操作簡單,容易維護。 
 ●寬泛的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍,可以使用多種工藝氣體,實現(xiàn)最大范圍的參數(shù)選擇。
 ●采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統(tǒng),特別適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)領(lǐng)域的需求。
 ●內(nèi)置兩路氣路,氣體流量可調(diào),無需再搭配氣體混合儀
 ●專利軟件、操作簡易,智能化設(shè)計,避免誤操作
 ●采用數(shù)字顯示壓力,實時觀察腔體壓力變化情況
 ●中英文操作系統(tǒng),觸摸屏控制,人機界面友好 電流、電壓實時監(jiān)測,確保儀器穩(wěn)定安全運行
 ●清洗時長可在觸摸屏設(shè)置,等離子處理時間精確到秒(s)
 ●清洗功率0-100%無極可調(diào)
 ●316不銹鋼腔體,低溫,不損傷樣品,腔體內(nèi)溫度小于60°

小型等離子清洗機產(chǎn)品應(yīng)用:


 ●引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。
 ●用于去除碳氫化合物污染物的 TEM 和 SEM 樣品清洗。
 ●等離子處理親水或疏水表面潤濕性。
 ●表面處理以提高環(huán)氧樹脂/膠水的粘合強度。
 ●用于光學(xué)、激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。
 ●提高 MEMS 微流體器件的潤濕性。
 ●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。
序號 項目 型號規(guī)格 參數(shù)
1 等離子發(fā)生器 功率 0-300W可調(diào)
抗輻射干擾高頻匹配器 自動阻抗匹配,遠程通信控制
頻率 40KHz
2 真空反應(yīng)腔室 腔體材質(zhì) 進口 316 不銹鋼,軍工級密封
腔體容積 5L
電極數(shù)量
1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼
托盤
腔體直徑(圓形) Φ140×270(D)mm
有效處理范圍 135(W)*250(D)mm
絕緣陶瓷 進口高頻陶瓷
3 氣路控制 氣體流量控制器 浮子針閥流量控制器, 0-500ML
氣路數(shù)量 2 路氣體通道,支持氧氣氬氣等
4 整機參數(shù) 整機功率 1000W
外形尺寸
590mm(L)×565mm(W) ×470 mm(H)

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