15L石英腔體等離子清洗機(jī)NE-Q15

產(chǎn)品型號(hào)：NE-Q15
性能特點(diǎn)：高潔凈石英玻璃腔室，無電極污染
產(chǎn)品用途：晶圓，硅片清洗，去殘膠，活化

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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)

NE-Q15等離子清洗機(jī)主要由真空系統(tǒng)以及等離子體發(fā)生裝置組成。將產(chǎn)品放入石英玻璃腔體后，進(jìn)行抽真空處理，待到達(dá)腔體內(nèi)額定真空度后，打開等離子體發(fā)生裝置進(jìn)行等離子體清洗處理一段時(shí)間即可?？捎糜诟黝惒牧希ㄋ芰稀⒔饘倩虿ＡУ龋┍砻婊罨幚砑庸?，并為后續(xù)的黏合、噴漆或者印刷做準(zhǔn)備，提高印刷前材料表面的附著力，使其后噴涂的涂料更有效的浸潤(rùn)材料表面。等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行預(yù)處理可以顯著提高后續(xù)加工步驟的成功率以及加工質(zhì)量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•設(shè)備采用感應(yīng)耦合等離子體（ICP）發(fā)生方式，具有無電極燒蝕污染、等離子體環(huán)境純凈，同時(shí)具有更高的功率密等特點(diǎn)，適用于潔凈度要求高的產(chǎn)品；
•等離子發(fā)生器采用13.56MHz射頻發(fā)生器，自動(dòng)阻抗匹配調(diào)諧；
•觸摸屏用戶界面+PLC控制，可儲(chǔ)存多條工藝程序，全自動(dòng)運(yùn)行；
•配備兩路氣路通道，氣體流量可調(diào)，無需再搭配氣體混合儀；
•整體外觀處理工藝、機(jī)架門板烤漆、耐用、防刮；
•鋁合金自動(dòng)門：氧化處理、噴砂、光潔高檔；
•電路設(shè)計(jì)電流過載保護(hù)，模塊式電路、維修方便快捷；
•手動(dòng)、自動(dòng)、真空保壓均可操作，不倒翁橡膠腳杯，自動(dòng)平衡機(jī)器、減震。

產(chǎn)品用途：

清潔材料表面
等離子體可以破壞重有機(jī)分子中的有機(jī)化學(xué)鍵，并且產(chǎn)生容易揮發(fā)的分子，使表面的有機(jī)污染從材料表面揮發(fā)。其次，等離子體中的活性粒子可以氧化有機(jī)污染物并使其分解形成二氧化碳和水蒸氣，在材料表面不會(huì)留下任何殘留。

形成新的化學(xué)官能團(tuán)并提高材料的潤(rùn)濕性
等離子體處理會(huì)在清潔后的材料表面接枝上大量極性含氧基團(tuán)，從而顯著增加材料表面的表面能以及潤(rùn)濕性。賦予材料表面一定潤(rùn)濕性能促進(jìn)了它們?cè)诟鱾€(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用。

使材料表面微觀上粗糙化（表面刻蝕）
等離子體處理材料表面時(shí)，高能量的離子或自由電子組成的物質(zhì)對(duì)材料界面進(jìn)行撞擊，產(chǎn)生刻蝕作用后，材料比表面積增大

型號(hào)	NE-Q15等離子清洗機(jī)
功率	0-500W連續(xù)可調(diào)
頻率	13.56 MHz 固態(tài)射頻電源
匹配器	數(shù)字全自動(dòng)阻抗匹配
腔體材質(zhì)	石英耐熱玻璃
腔體容積	15L
腔體直徑（圓形）	Φ250×300（D）mm
氣體流量	2路（氧氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣等?/span>
極限真空度	1PA
控制系統(tǒng)	PLC+觸摸屏
電源供應(yīng)	220V
重量	70KG
外形尺寸	755mm(L)×825mm(W) ×1550 mm(H)

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15L石英腔體等離子清洗機(jī)NE-Q15

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